一、产品概述

1TGB302004R5003是一款高精度传动组件，专为半导体制造设备（如光刻机、蚀刻机）或精密工业自动化系统设计，主要用于运动控制、机械传动或光学定位等关键环节。其核心功能包括高刚性结构、低背隙传动及洁净室环境适应性，适用于严苛的高洁净度场景。

二、技术参数

参数描述

类型谐波减速器或行星齿轮箱（推测）

输入转速0-5000 RPM

输出扭矩50 N·m（最大值）

减速比1:100（可定制范围）

回程误差≤2 arc-minute

工作温度-20°C至60°C

防护等级IP68（防尘防水）

材料不锈钢+陶瓷涂层（抗污染设计）

三、核心功能与特点

高精度传动

采用谐波传动技术或行星齿轮设计，实现高减速比与低背隙输出，确保运动控制的稳定性。

支持双向传动，适配光刻机晶圆台的微米级定位需求。

抗污染与洁净室兼容性

表面经过陶瓷涂层处理，减少颗粒物脱落，满足Class 1洁净室标准。

密封结构设计，防止油污或灰尘侵入，延长使用寿命。

工业级可靠性

宽温域运行：适应光刻机环境的温度波动。

长寿命设计：关键部件通过20,000小时疲劳测试，MTBF（平均无故障时间）超过50,000小时。

模块化集成

兼容ASML或泛林半导体（Lam Research）设备的标准化接口，支持快速安装与维护。

四、应用场景

光刻机晶圆传输系统

驱动晶圆卡盘的旋转与定位，确保曝光精度。

蚀刻机机械臂控制

提供高扭矩输出，控制蚀刻腔室内的晶圆夹具动作。

精密光学对准模块

通过低背隙传动实现透镜组的微调，补偿热漂移或机械振动。