产品简要说明
ASML 859-0743-018是ASML公司专为半导体制造设备设计的高密度多层印刷电路板(PCB),具备以下核心特性:
多层精密设计:采用12层叠层结构,支持高频信号传输与高密度元件集成。
定制化功能:可适配光刻机曝光控制、晶圆检测等场景的电源分配与信号处理需求。
工业级可靠性:通过Class 1洁净室认证,适应24小时连续运行环境。
产品详细说明
1.技术架构与核心功能
多层叠层设计:
采用高导热材料(如FR4与聚酰亚胺复合基材),支持12层电路堆叠,减少信号串扰。
内置独立电源层与地层,优化电源分配效率,降低电磁干扰(EMI)。
高频信号处理:
支持GHz级信号传输(如EUV光刻机的激光控制信号),插入损耗≤0.5dB 10GHz。
集成滤波器与阻抗匹配模块,确保信号完整性(S参数误差<±3%)。
定制化布局:
可按需设计异形尺寸(如曲面或镂空结构),适配光刻机紧凑化设备布局。
提供标准化接口(如PCIe、SATA)与定制化连接器(如高密度FPC柔性连接)。
2.性能优势
高可靠性:
通过工业级温度循环测试(-40℃~125℃),热膨胀系数(CTE)匹配晶圆基材。
抗湿性等级≥IP67,适应洁净室高纯度气体环境。
能效优化:
动态电源管理技术,待机功耗降低至2W以下,整体能耗效率提升30%。
抗干扰设计:
层间屏蔽层与接地隔离设计,EMC等级Class B(10V/m辐射抗扰)。
3.行业适配性
半导体制造:
用于光刻机曝光控制单元、晶圆缺陷检测系统的信号处理与电源分配。
支持EUV光源驱动、掩模台定位等关键子系统。
工业自动化:
适配高精度运动控制卡、传感器网络等场景的高速数据传输需求。
技术规格:ASML 859-0743-018
参数项规格描述
层数12层高密度叠层
基材类型FR4与聚酰亚胺复合材料
信号传输频率10GHz(插入损耗≤0.5dB)
尺寸范围定制化(最小尺寸:50mm×50mm)
工作温度-40℃~125℃
抗湿等级IP67(48小时浸水测试)
功耗≤15W(典型值)