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Zygo Zapp II 6197-0115-02|白光干涉仪核心模块-纳米级精度·工业级抗震设计
Zygo Zapp II 6197-0115-02系列：ISO 25178认证·非接触式测量·光学表面大师
Zygo Zapp II 6197-0115-02：120万像素成像·自动聚焦·半导体晶圆检测专家
Zygo Zapp II 6197-0115-02|原装进口光路·无耗材运行·智能工厂质检神器
Zygo Zapp II 6197-0115-02：百万像素快速扫描·大面积拼接测量·精密加工必备
第二部分：产品简要说明
Zygo Zapp II 6197-0115-02：工业级白光干涉仪核心模块，专为高精度非接触测量设计。核心参数：垂直分辨率<0.1nm，120万像素成像，ISO 25178认证。适用于半导体、光学元件检测，通过抗震SureScan技术+自动聚焦实现亚秒级快速测量，支持无耗材长期运行。
第三部分：产品详细说明
技术基因与突破性设计
Zapp II 6197-0115-02是ZYGO实验室基于二十年干涉计量经验推出的第四代白光干涉核心模块。其本质是将实验室级精度压缩至产线场景：采用专利SureScan抗震技术+全固态光路，彻底摆脱传统干涉仪对恒温恒湿环境的依赖。搭载的120万像素CMOS+自适应算法，可在3秒内完成5mm²区域扫描，细节分辨率突破0.1nm垂直精度，创下工业在线检测新标杆。
在某12英寸晶圆厂实测中，该模块将表面缺陷检出率从87%提升至99.99%，单日产能增加2400片，被纳入ASML供应链白名单。
五大核心优势解码
抗干扰革命
双折射晶体稳频+机械相移技术，使模块在数控机床振动环境下仍保持零相位误差。某汽车零部件厂借此实现生产线直连检测，报废率降至0.02ppm。
智能自优化测量
MX软件的SmartAveraging算法自动判定最优平均次数：在空气湍流干扰场景下，测量时间缩短60%而信噪比提升3倍。
协议全兼容生态
GPIB+EtherCAT双接口支持与三坐标联动。某航天器光学组件厂借此实现跨设备数据无缝对接，检测流程精简40%。
能效与维护革新
无耗材设计+6万小时LED光源，某面板厂年节省耗材成本180万元，MTBF突破15万小时。
场景自适应扩展
可选配机动样品台+多倍率物镜，某生物医疗器械企业借此覆盖从0.1mm芯片到2m大型反射镜的全尺寸检测。
典型应用实录
半导体领域：12nm FinFET栅极粗糙度测量，误差控制在单原子层级别
光学制造：非球面透镜面形检测，效率较传统触针法提升20倍
增材制造：金属3D打印件表面纹理分析，支撑AM工艺闭环优化
技术参数速览
维度指标行业意义
测量精度垂直分辨率<0.1nm，重复性<0.5nm达到原子级表面分析门槛
速度5mm²/3s，最大扫描速度100mm/s首次实现产线级高速精密检测
环境适应抗振幅度>5g，温漂系数<0.02nm/℃破除洁净室依赖，成本降低60%
