一、产品定位
类型:PXI Express四通道SMU模块,支持源和测量电压/电流。
应用场景:
半导体器件测试(如晶体管、二极管、MOSFET特性分析)。
集成电路(IC)验证与生产测试。
材料科学研究(如纳米材料、光伏电池、传感器测试)。
电池充放电测试与建模。
高精度数据采集与信号监测。
二、核心功能与特性
四通道独立控制
每个通道可独立配置为电压源、电流源、电压测量或电流测量模式。
支持并行测试,显著提升测试吞吐量。
高精度源与测量
电压源范围:±200 V(最大),分辨率100μV。
电流源范围:±1 A(最大),分辨率100 fA(高精度模式)。
测量精度:
电压测量:±(0.03%+100μV)。
电流测量:±(0.05%+10 pA)(高精度模式)。
低噪声:支持纳安级电流测量,适合弱信号检测。
高速动态响应
电压/电流切换速度:<10μs(典型值),适用于快速脉冲测试。
采样率:每个通道最高1.8 MS/s(可配置),支持实时信号监测。
灵活的触发与同步
支持PXI Express多模块同步,触发延迟<100 ns。
可通过软件或硬件触发(如TTL信号)与其他仪器(如示波器、脉冲发生器)协同工作。
内置保护功能
过压/过流保护(OVP/OCP),防止损坏被测器件(DUT)。
隔离通道设计,减少通道间串扰。
三、技术规格
参数详情
通道数4个独立通道
电压源范围±200 V(最大),分辨率100μV
电流源范围±1 A(最大),分辨率100 fA(高精度模式)
电压测量范围±210 V(最大),精度±(0.03%+100μV)
电流测量范围±1.05 A(最大),精度±(0.05%+10 pA)(高精度模式)
采样率单通道最高1.8 MS/s,多通道可配置
触发延迟<100 ns(硬件触发)
连接器类型高密度Triax或SMB(根据型号)
尺寸PXI Express单槽模块(3U高度)
功耗<25 W(典型值)
工作环境温度0°C至55°C
四、软件支持
驱动与API
NI-DCPower驱动:提供LabVIEW、C/C++、.NET等语言的API,简化编程。
NI-DAQmx兼容性:支持与数据采集卡无缝集成。
测试开发环境
LabVIEW:通过图形化编程快速构建测试序列。
TestStand:管理测试流程,支持多模块并行测试。
Switch Executive:与矩阵开关模块协同,实现复杂信号路由。
半导体测试软件
NI Semiconductor Test System(STS):针对晶圆测试和封装测试优化的解决方案。
五、典型应用场景
半导体器件特性分析
测试晶体管、二极管、MOSFET的I-V曲线。
测量纳米级器件的漏电流和阈值电压。
电池测试
充放电循环测试,分析电池容量和内阻。
建模电池动态响应(如脉冲充放电)。
材料科学研究
光伏电池效率测试(I-V曲线测量)。
纳米材料电导率表征。