AMAT 0090-76133是应用材料公司(Applied Materials,AMAT)生产的一款半导体设备专用备件,主要用于半导体制造工艺中的关键设备控制系统或机械组件,是保障设备稳定运行和工艺精度的重要部件。以下是其详细产品信息:
一、基本信息
制造商:Applied Materials(应用材料公司,全球半导体设备领域龙头企业)
产品类型:半导体设备备件(具体功能需结合设备型号确认,常见为控制模块、传感器组件或驱动单元)
备件编号:0090-76133(AMAT标准化备件编码,用于精准识别和替换原厂组件)
二、核心特性与技术背景
适用设备范围
该备件主要适配AMAT旗下的高端半导体制造设备,尤其常见于:
PVD(物理气相沉积)设备(如Endura®系列):用于薄膜沉积工艺中的靶材控制、腔体压力监测或机械臂传动系统;
CVD(化学气相沉积)设备:参与工艺气体流量调节、温度传感器信号处理或腔室密封控制;
蚀刻设备:支持等离子体参数监测、射频电源控制或晶圆传输定位组件。
性能特点
严苛环境适配:采用半导体级材质制造,具备耐高温(-20°C~+85°C典型工作范围)、抗腐蚀、抗电磁干扰(EMI)特性,适应洁净室(Class 1及以上)高洁净度、低振动的运行环境。
原厂兼容性:作为AMAT原厂备件,与设备的硬件接口、软件协议完全匹配,确保信号传输精度(如模拟量/数字量转换误差≤0.1%)和控制逻辑稳定性。
长寿命设计:元器件经过严格筛选,平均无故障时间(MTBF)符合半导体设备高可用性要求,减少非计划停机。
三、应用领域
半导体前道制造:核心用于12英寸/8英寸晶圆的薄膜沉积(如金属化层、介质层)、图形蚀刻、离子注入等关键工艺设备,保障晶圆加工的均匀性和良率。
先进封装与光伏:部分适配AMAT先进封装设备(如晶圆键合机)或高效光伏电池制造设备(如PECVD系统),但需根据具体设备型号确认兼容性。
ABB Model: GBU72 3BHE055094R0002 Model: 3BHE055094R0002 GBU72 Model: GBU72 Model: 3BHE055094R0002 Model: 3BHE031197R0001 Model: 3BHB030310R0001 Model: 73BHE055094R0002 GBU72 Model: 73BHE055094R0002 Model: GBU72 Model: ABB PCS6000 PRODUCT FAMLIY ABB 5SHY4045L0006 3BHB030310R0001 3BHE039203R0101 GVC736CE101