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AMAT 361655|Applied Materials离子注入机射频电源模块全新原装现货

Applied Materials 361655|Pinnacle RF Generator射频发生器兼容替换一年质保

AMAT 361655|半导体离子注入机核心RF模块正品授权进口备件

Applied Materials 361655|Pinnacle+射频电源13.56MHz全新库存价格面议

AMAT 361655|离子注入RF Generator|半导体设备核心模块现货速发

2.产品核心摘要(Product Core Brief)

型号:AMAT 361655(Applied Materials 361655)

品牌:Applied Materials(AMAT，美国应用材料公司)

系列:Pinnacle+RF Generator射频电源模块

核心功能:为Pinnacle/Pinnacle+离子注入机提供13.56MHz射频电源，驱动离子源产生离子束，是离子注入工艺的核心动力模块

产品类型:射频发生器(RF Generator)

关键规格:13.56MHz RF|最大输出功率2~4kW(可调)|50Ω阻抗匹配|自动阻抗匹配网络|固态射频电源|冷却方式：风冷/水冷可选

成色:全新原装(New Surplus)/翻新可选，非拆机

⚠️属于Pinnacle+系列老备件，已停产，采购前确认系统兼容性

3.关键技术规格

参数项规格值

模块型号361655(AMAT P/N:361655)

品牌Applied Materials(AMAT)

系列Pinnacle+RF Generator

类型射频发生器(RF Power Generator)

工作频率13.56 MHz(ISM频段)

最大输出功率2kW~4kW(可调，依配置而定)

输出阻抗50Ω(自动阻抗匹配)

匹配网络自动阻抗匹配(Auto-Match)，反射功率<5%

电源类型固态射频电源(Solid-State RF)

冷却方式风冷/水冷(依配置)

输入电压200~240V AC/400~480V AC(三相，依配置)

工作温度10°C至+40°C(柜内安装)

防护等级IP20(机柜内安装)

安装方式Pinnacle+机柜内部直插安装

尺寸约432mm×200mm×560mm(标准半宽Eurocard×2)

重量约25~35 kg(依配置)

认证CE/UL/CSA

对应旧型号361655-001(无后缀早期版本)

升级替代361655-002(新版)

关联模块361020(RF Match)、361010(Ion Source)、361000(High Voltage Deck)、361650(Cooling Unit)

适用机型Pinnacle/Pinnacle+离子注入机

4.产品深度介绍(Product Introduction)

AMAT 361655是美国应用材料(Applied Materials)为其Pinnacle/Pinnacle+离子注入机设计的射频发生器(RF Generator)。它是离子注入工艺的心脏——没有它，离子源就无法产生离子束，整台注入机就是一堆废铁。

361655的核心价值就一个字：稳。13.56MHz射频电源输出功率稳定、阻抗自动匹配、反射功率极低(<5%)，确保离子束流稳定、注入剂量精确。这在半导体制造中是保命级设计——离子注入的剂量偏差哪怕1%，整批晶圆就报废了。

361655的关键能力：

功能说明

13.56MHz射频输出ISM标准频段，驱动Pinnacle离子源产生B⁺/P⁺/As⁺/BF₂⁺等离子束

2~4kW可调功率根据工艺需求调整输出功率，控制离子束流大小

自动阻抗匹配内置自动匹配网络，反射功率<5%，无需人工调谐

50Ω阻抗标准射频阻抗，与离子源完美匹配

固态射频无电子管，寿命长、维护少、故障率低

风冷/水冷可选高功率配置用水冷，标准配置用风冷

远程监控支持AMAT设备通讯协议，可在Host系统上监控RF状态