ASYST 9700-6584-01
基本信息
品牌：ASYST Technologies（泛林/应用材料配套自动化厂商）
型号：9700-6584-01
类型：PCB控制板/伺服接口板/机器人控制板
适用设备：
晶圆传送机器人（EFEM、Load Port、Robot Handler）
FOUP传送、晶圆厂自动化物料搬运系统
用途与功能
用于精密伺服电机控制：驱动晶圆机器人X/Y/Z/θ轴
编码器信号采集、伺服闭环、限位/原点信号处理
与上位机（PLC/主控制器）通讯，执行机器人运动指令
提供过流、过压、碰撞、超程硬件保护
外观与接口特征
标准工业PCB板卡，多通道端子或连接器接口
常见：伺服驱动接口、编码器反馈接口、急停/IO端子
板载指示灯：PWR、COM、AXIS、FAULT等
