描述
产品说明

7702
ZYGO 7702是一款基于氦氖技术的高精度激光干涉仪,属于ZYGO ZMI系列产品 其设计目标是提供亚纳米级的测量精度和高稳定性,适用于高级表面轮廓和尺寸测量 该设备采用先进的干涉测量技术,能够快速启动并提供稳定的测量信号,广泛应用于晶圆检测、掩模计量和各种光学元件的分析
产品参数
激光波长:632.8 nm
最大测量范围:300 mm
分辨率:1 nm
输出功率:>400µW
尺寸:100 mm x 80 mm x 66 mm
工作温度:15-30℃
光源类型:纳秒脉冲激光器
产品规格
测量模式:支持表面形貌测量、光学元件分析和三维测量
光学隔离功能:防止激光器受干扰,延长使用寿命并提高灵活性
快速启动:从开启到激光输出仅需几秒钟
系列
ZYGO 7702属于ZYGO ZMI系列,该系列设备以其高精度和高稳定性著称,适用于工业自动化、精密测量和科学研究
特征
高精度:提供亚纳米级的测量精度,适合精密加工和质量控制
高稳定性:采用优质材料和精密制造工艺,确保设备在长时间内保持稳定性和可靠性
多功能性:支持多种测量模式,包括表面形貌测量、光学元件分析和三维测量
光学隔离功能:防止激光器受干扰,提高设备的灵活性和使用寿命
作用与用途
ZYGO 7702主要用于以下领域:
半导体制造:用于晶圆检测、掩模计量和高级表面轮廓测量
光学元件分析:测量光学元件的表面形貌和波前畸变
精密加工:用于机械加工和环境监测中的高精度测量
科学研究:支持气体浓度、污染物等检测和分析
应用领域
工业自动化:用于生产线上的质量检测
环境监测:检测气体浓度和污染物
军事与国防:用于激光武器和激光雷达
科学研究:用于气体浓度、污染物等检测和分析
医疗领域:支持医疗设备的精密测量
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