描述
产品说明：
0021-53986
AMAT 0021-53986是一种用于等离子体刻蚀和沉积系统的下护罩组件，主要用于保护腔室免受灰尘、碎屑和其他污染物的侵害。此外，它也被描述为一款直流电源模块，适用于半导体制造设备。
产品参数：
材质：铜。
尺寸：300毫米（形状为圆形，孔径待定）。
功率：输入电压为180 V至460 V DC，输入电流为100 A，输出电压为24 V DC，输出电流为125 A，功率为3000 W。
产品规格：
主体材质：不锈钢。
密封件材质：氟橡胶。
表面粗糙度：Ra 0.2μm。
尺寸公差：±0.01 mm。
系列：
该产品属于AMAT的Lower Shield系列。
特征：
高性能：采用优质材料制造，加工精度高，可靠性高。
高精度和稳定性：适用于对信号精度和稳定性要求高的工业控制系统。
耐用性：具有良好的抗干扰能力、防尘防水能力和耐用性。
作用：
保护腔室免受污染物侵害。
提供高效、精确的直流电源解决方案。
用途：
应用于微电子制造、光伏器件制造、光学元件制造和薄膜涂层等领域。
适用于扩散炉、刻蚀机、沉积设备、清洗设备和测试设备等半导体制造过程中的关键设备。
应用领域：
半导体制造。
太阳能电池制造。
LED制造。
其他需要蚀刻工艺的应用。
ABB S-073N ALU 3BHB009884R5211 ABB S-093H 3BHB030478R0309 ABB S-123H 3BHB030479R0512 ABB UFC912A101 3BHE039426R0101 ABB 5SHY4045L0001 3BHB018162R0001 ABB S-113N 3BHB018008R0001
