描述
产品说明
001-4130-03
BROOKS AUTOMATION 001-4130-03是一款高精度、高可靠性的晶圆对准控制器，属于Brooks Automation的VCE系列该控制器通过先进的控制算法和高精度传感器，实现亚微米级别的对准精度，确保晶圆在加工过程中的精确位置，从而提高生产效率和产品质量
产品参数
对准精度：±2μm（X/Y方向），±0.1 mrad（θ方向）
重复性：X/Y方向为0.5μm，θ方向为0.05mrad
扫描范围：X/Y方向±20mm，θ方向±5°
速度：X/Y方向100mm/s，θ方向10°/s
防护等级：IP65
工作温度：0°C至+50°C
负载能力：5kg
尺寸：500mm x 400mm x 300mm
重量：20kg
产品规格
类型：晶圆搬运机械手控制器
控制精度：±5μm
搬运速度：最高可达1 m/s
通信接口：RS-232、RS-485、Ethernet
系列
该产品属于Brooks Automation的VCE系列，该系列以高精度、高可靠性和易用性著称
特征
高精度对准：采用高精度伺服电机和编码器，确保对准精度达到微米级
快速响应：控制器具有快速的响应时间，能够迅速调整位置，适应高速生产节奏
稳定性与可靠性：采用工业级设计，能够在恶劣生产环境中稳定运行，减少设备停机时间
用户友好界面：提供直观的用户界面，简化操作和参数设置
实时监控与反馈：具备实时对齐反馈功能，确保过程控制的及时性和准确性
多种对齐模式：支持多种对齐模式和策略，适应不同应用场景和需求
可编程性：允许用户根据具体应用需求进行编程和定制
作用与用途
BROOKS AUTOMATION 001-4130-03的主要作用是通过高精度定位和校准技术，确保晶圆在搬运和定位过程中的精确性其广泛应用于以下领域：
半导体制造：晶圆清洗、光刻、蚀刻、沉积等工艺
太阳能电池制造：用于太阳能电池板的晶圆对准操作
LED制造：用于LED芯片的精准对准
其他精密制造应用：如计量、薄膜沉积等
