描述
产品说明
001-4130-03
Brooks Automation 001-4130-03是一款高精度晶圆对准控制器，采用先进的定位算法和伺服驱动器，能够实现亚微米级别的对准精度，适用于半导体制造过程中的关键步骤，如光刻、刻蚀和沉积等操作
产品参数
对准精度：纳米级别，误差范围±0.1μm
X-Y行程范围：400mm
搬运速度：最高可达1m/s
负载能力：5kg
工作温度：0°C至+50°C
防护等级：IP65
通信接口：RS-232、RS-485、Ethernet
产品规格
模块化设计，便于安装、维护和升级
支持多种编程语言，用户可自定义控制逻辑
集成智能诊断、自适应控制和远程监控功能
具备防震、防尘、防潮特性
系列
Brooks Automation 001-4130-03属于VCE系列，该系列以高精度、高可靠性和易用性著称
特征
高精度对准：采用先进算法和传感器，确保晶圆在X、Y和θ方向的精确对准
多轴控制：支持同时控制多个机器人轴，满足复杂的运动需求
安全性设计：具备防止意外移动或操作错误的安全机制
快速响应：动态响应时间短，适应高速生产节奏
稳定性与可靠性：即使在长时间运行下仍能保持高精度和稳定性
作用与用途
主要用于半导体制造过程中的晶圆对准操作，确保晶圆在加工过程中能够被准确对齐
应用于光刻、刻蚀、沉积等关键工艺步骤
还可用于光掩模对齐器中，生产高品质、高容量的光掩模
应用领域
半导体制造：包括晶圆传送机、光刻机、刻蚀机、离子注入机等设备
生命科学及其他高科技行业
先进制造业中的精密定位系统
