‌Advanced Energy AE HFV-8000 3155083-002‌ | 13.56 MHz 高频输出 功率稳定度±0.5%
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‌Advanced Energy AE HFV-8000 3155083-002‌ | 13.56 MHz 高频输出 功率稳定度±0.5% 其他

  • ‌型号‌：HFV-8000 3155083-002
  • ‌品牌‌：Advanced Energy (AE) 先进能源
  • ‌系列‌：HFV 8000 半导体射频电源系列
  • ‌核心功能‌：半导体刻蚀工艺高频射频功率输出
  • ‌产品类型‌：8 kW 工业射频电源单元
  • ‌关键规格‌：13.56 MHz 工作频率、8 kW 最大输出功率、功率调节精度±0.5%
分类： 品牌：

描述

产品核心摘要

  • ‌型号‌：HFV-8000 3155083-002
  • ‌品牌‌：Advanced Energy (AE) 先进能源
  • ‌系列‌：HFV 8000 半导体射频电源系列
  • ‌核心功能‌：半导体刻蚀工艺高频射频功率输出
  • ‌产品类型‌：8 kW 工业射频电源单元
  • ‌关键规格‌：13.56 MHz 工作频率、8 kW 最大输出功率、功率调节精度±0.5%

关键技术规格

表格
参数项 规格值
产品类型 半导体专用射频电源
额定输出频率 13.56 MHz
最大输出功率 8000 W
功率调节范围 10% ~ 100% 连续可调
功率稳定度 ±0.5% 满量程
供电输入 200~240 V 三相交流 50/60 Hz
冷却方式 强制风冷
工作温度范围 5 ℃ ~ +40 ℃
冷却风温要求 ≤ 35 ℃ 进气温度
通讯接口 模拟量I/O + RS232 诊断接口
适配场景 半导体刻蚀、PVD 镀膜工艺
防护等级 IP20 机柜安装环境
合规认证 CE、SEMATECH 半导体工业标准

产品深度介绍

AE HFV-8000 3155083-002 是专为半导体晶圆刻蚀、PVD 镀膜工艺设计的大功率射频电源，可提供稳定的13.56 MHz高频射频输出，为等离子体工艺提供精准能量支撑。
全金属屏蔽壳体设计，可有效抑制射频信号对外辐射干扰，自带过功率、过温、驻波比超限多重保护机制，可在半导体车间24小时连续高负载工况下长期稳定运行。模块化结构支持热插拔维护，大幅缩短机台故障后的停机恢复时间。

核心卖点与差异化

  • ‌超高功率稳定性‌：±0.5% 满量程功率稳定度，保障等离子体工艺一致性，减少晶圆报废率。
  • ‌宽范围阻抗适配‌：内置自动阻抗匹配预判算法，可快速适配工艺腔动态负载变化。
  • ‌免改线替换‌：接口定义与同系列旧款完全兼容，更换操作无需修改机台工艺参数，停机时间小于30分钟。
  • ‌全功率老化测试‌：所有出货电源均完成72小时满功率带载老化，附带完整功率校准测试报告。
  • ‌完备诊断能力‌：自带RS232诊断串口，可直接读取内部故障代码，大幅缩短故障排查时间。
  • ‌12个月质保‌：提供超长质保周期，覆盖半导体设备年度维护全周期。

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