描述
Meta Description
AE MDX-L12是Advanced Energy推出的12kW磁控管溅射直流电源,全新原装现货,具备低输出纹波和优异灭弧性能,适配半导体、光学镀膜场景,支持AMAT设备直接替换,提供一年质保。
产品核心摘要
- 型号:MDX-L12
- 品牌:Advanced Energy (AE)
- 系列:MDX-L系列
- 核心功能:磁控管溅射镀膜直流驱动
- 成色:全新原装 (New Surplus),非翻新
- 产品类型:直流电源 (DC Power Supply)
- 关键规格:12 kW功率,低输出纹波,优异灭弧性能
关键技术规格
表格
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 最大功率 | 12 kW |
| 电源类型 | 直流 (DC) |
| 核心应用 | 磁控管溅射 (Magnetron Sputtering) |
| 灭弧性能 | 先进灭弧技术,减少弧光放电 |
| 输出纹波 | 低纹波,保障膜层均匀 |
| 控制功能 | 精确的电流/电压/功率调节 |
| 结构设计 | 紧凑型,便于系统集成 |
| 典型应用 | 半导体、光学、装饰性镀膜 |
| 保护功能 | 过载、短路、过热保护 |
| 输入电压 | 220 V AC |
| 兼容系统 | 应用材料 (AMAT)等真空镀膜设备 |
产品深度介绍
当真空镀膜生产线的电源突然断弧,整批晶圆的膜层厚度直接报废——这正是AE MDX-L12存在的意义。
AE MDX-L12属于MDX-L系列的工业级直流电源,定位是高精密磁控溅射工艺的核心驱动单元。
相比同系列的MDX-L6,MDX-L12在输出功率上直接翻倍,支持更大尺寸的靶材连续运行。
其MTBF超过50,000小时,在半导体晶圆镀膜产线中,能把单次镀膜的膜层厚度偏差控制在±1%以内,大幅提升良率。



