描述
Agilent HP 5517B是一款高精度激光干涉仪核心组件，专为精密测量与工业控制设计，广泛应用于半导体制造、机床校准、科学研究等领域。以下是其核心功能与技术特点的综合概述：
一、技术参数
激光特性
-类型：氦氖（He-Ne）连续波激光，波长632.99137nm（精度±0.02ppm）。
-输出功率：120μW（最小）至1mW（最大），可选配H10选项提升至400μW。
-光束直径：6mm（标准），可扩展至9mm（选件009）。
频率与稳定性
-参考频率：1.9-2.4MHz（标准），选件H10可扩展至2.2-2.4MHz。
-MTBF：>50,000小时，长期稳定性高。
环境适应性
-工作温度：-25°C至65°C，湿度5%-95%（非凝结）。
-预热时间：90分钟（标准），风扇辅助可缩短至45分钟（选件）。
二、核心功能
高精度测量
-支持亚微米级精度，适用于长度、位移及定位误差检测。
-兼容双频干涉测量，适用于精密加工与校准。
工业级可靠性
-采用II类激光安全设计，符合工业环境严苛标准。
-重量3.4kg，结构紧凑，便于集成。
灵活性与兼容性
-适配VME/PC系统及5527A等机床应用，支持定制化接口。
-多种选项（如H10、009）满足不同功率与频率需求。
三、应用领域
半导体制造
-光刻机对准、晶圆检测及高精度定位。
精密机床
-机床导轨校准、主轴定位误差分析。
科学研究
-光学实验、引力波探测及量子物理研究。
IS200EHPAG1C
Agilent HP 5517B is a high-precision laser interferometer core component designed for precision measurement and industrial control.It is widely used in semiconductor manufacturing,machine tool calibration,scientific research and other fields.The following is a comprehensive overview of its core functions and technical features:
I.Technical parameters
Laser characteristics
-Type:Helium-neon(He-Ne)continuous wave laser,wavelength 632.99137nm(accuracy±0.02ppm).
-Output power:120μW(minimum)to 1mW(maximum),optional H10 option to increase to 400μW.
-Beam diameter:6mm(standard),expandable to 9mm(option 009).
Frequency and stability
-Reference frequency:1.9-2.4MHz(standard),option H10 can be expanded to 2.2-2.4MHz.
-MTBF:>50,000 hours,high long-term stability.
Environmental adaptability
-Operating temperature:-25°C to 65°C,humidity 5%-95%(non-condensing).
-Warm-up time:90 minutes(standard),fan-assisted can be shortened to 45 minutes(option).
2.Core functions
High-precision measurement
-Supports sub-micron accuracy,suitable for length,displacement and positioning error detection.
-Compatible with dual-frequency interferometry,suitable for precision machining and calibration.
Industrial reliability
-Adopts Class II laser safety design,meeting the stringent standards of industrial environments.
-Weight 3.4kg,compact structure,easy to integrate.
Flexibility and compatibility
-Adapt to VME/PC systems and machine tool applications such as 5527A,support customized interfaces.
-A variety of options(such as H10,009)meet different power and frequency requirements.
3.Application areas
Semiconductor manufacturing
-Photolithography machine alignment,wafer detection and high-precision positioning.
Precision machine tools
-Machine tool guide rail calibration,spindle positioning error analysis.
Scientific research
-Optical experiments,gravitational wave detection and quantum physics research.
