描述
产品说明

0010-23716
AMAT 0010-23716是一款高精度的高温测量设备,属于AMAT半导体设备系列它能够在极端高温环境下提供精确的温度测量,满足半导体制造对温度控制的高精度要求该设备通常被称为热电偶(Pyrometer或High Temperature Thermometer),广泛应用于半导体制造中的高温工艺环节,如热氧化、扩散和沉积等
产品参数
输入电压:115V AC或230V AC
输出范围:可调
高精度和快速响应:能够在高温环境下实时监测温度变化
兼容性:与AMAT及其他品牌特定型号设备兼容
产品规格
型号:0010-23716
功能:高温测量模块,用于监测和控制高温工艺过程
系列
AMAT 0010-23716属于AMAT半导体设备系列,专注于高温测量领域
特征
高精度:能够提供精确的温度测量结果,确保工艺稳定性和产品质量
快速响应:在高温环境下能够实时监测温度变化
高度自动化:易于集成到生产线中,减少人工干预
兼容性:与其他AMAT设备兼容,便于维护和升级
作用与用途
AMAT 0010-23716的主要作用是为半导体制造过程中的高温工艺提供精确的温度测量解决方案其用途包括但不限于:
热氧化:监控氧化工艺中的温度变化
扩散:确保扩散工艺的温度控制
沉积:监测沉积工艺中的温度稳定性