描述
AMAT 0010-28715是应用材料（Applied Materials,AMAT）的300mm静电卡盘（ESC）加热器总成，用于半导体制程腔室，为晶圆提供均匀、精确的温度控制。
一、基础信息
表格
项目规格
型号0010-28715
品牌Applied Materials(AMAT)
类型Electrostatic Chuck(ESC)Heater Assembly
晶圆尺寸300mm(12英寸)
用途半导体制程腔体温控（沉积/刻蚀等）
状态原厂备件/翻新/二手流通
重量约27 kg
二、核心功能
静电吸附与加热一体
静电卡盘（ESC）：吸附晶圆，减少机械接触与污染。
内置加热元件：提供均匀面加热，控温精度高。
温度均匀性
嵌入式加热设计，保证晶圆全区域温度一致性。
适配对温度敏感的薄膜沉积、刻蚀、退火等工艺。
耐严苛环境
高纯度陶瓷/耐高温材质，耐受真空、等离子体、腐蚀性气体。
适配AMAT Endura、Centura等主流平台腔室。
三、关键参数（公开信息）
1.物理与材质
直径：300 mm
材质：高纯度陶瓷（ESC面）+金属基座
加热方式：嵌入式电阻加热
冷却：内部水冷通道（配套温控系统）
2.电气与温控
供电：三相AC/直流（依腔室配置）
控温范围：典型100–500°C（工艺定制）
控温精度：±1–2°C（全晶圆面）
温度均匀性：≤±1%（300mm范围内）
