描述
物理特性
-材质：不锈钢（SS316L）、铝合金或陶瓷（半导体设备常见耐腐蚀材料）；
-尺寸：AMAT同类组件通常为定制化设计（如φ50–150 mm法兰或模块化结构）；
-接口：兼容KF/ISO法兰或卡套式连接（真空系统常见标准）。
性能参数
-压力范围：10^-7 to 760 Torr（超高真空至大气压适用）；
-温度耐受：-40°C至+200°C（部分工艺模块支持更高温度）；
-兼容气体：惰性气体（Ar、N₂）、工艺气体（SiH₄、Cl₂）或腐蚀性介质（需防腐设计）。
电气/控制
-供电需求：24 V DC（传感器或执行器常见）；
-信号输出：4–20 mA或数字信号（如RS-485）。
三、应用场景与兼容性
设备适配：可能用于AMAT Centura、Endura或Producer系列平台；
工艺关联：CMP设备中的抛光头组件，或刻蚀机中的气体分流器；
维护特性：支持热插拔或模块化更换（减少设备停机时间）。
Physical characteristics
-Material:stainless steel(SS316L),aluminum alloy or ceramic(common corrosion-resistant materials for semiconductor equipment);
-Dimensions:AMAT similar components are usually customized(such asφ50–150 mm flanges or modular structures);
-Interface:Compatible with KF/ISO flange or tuck type connection(common standard for vacuum systems).
Performance parameters
-Pressure range:10^-7 to 760 Torr(sufficient for ultra-high vacuum to atmospheric pressure);
-Temperature tolerance:-40°C to+200°C(some process modules support higher temperatures);
-Compatible gases:inert gas(Ar,N₂),process gas(SiH₄,Cl₂)or corrosive media(requires anti-corrosion design).
Electrical/Control
-Power supply requirements:24 V DC(common sensor or actuator);
-Signal output:4–20 mA or digital signal(such as RS-485).
3.Application scenarios and compatibility
Device adaptation:May be used for AMAT Centura,Endura or Producer series platforms;
Process association:polishing head assembly in CMP equipment,or gas shunt in etching machine;
Maintenance features:Supports hot swap or modular replacement(reduces equipment downtime).
ABB 型号：GBU72 3BHE055094R0002 型号：3BHE055094R0002 GBU72 型号：GBU72 型号：3BHE055094R0002 型号：3BHE031197R0001 型号：3BHB030310R0001 型号：73BHE055094R0002 GBU72 型号：73BHE055094R0002 型号：GBU72 型号：ABB PCS6000 PRODUCT FAMLIY
