描述
产品说明
0021-53986
AMAT 0021-53986是一种用于等离子体刻蚀和沉积系统的下护罩组件，主要用于保护腔室免受灰尘、碎屑和其他污染物侵害 此外，它也被描述为一种直流电源模块，适用于半导体制造设备
产品参数
材质：铜
尺寸：300毫米（圆形）
输入电压：180至460 VDC
输入电流：100 A
输出电压：24 V DC
输出电流：125 A
功率：3000 W
效率：高达95%
工作温度范围：0°C至50°C
产品规格
该产品具有高性能、高精度和可靠性，适用于严格的工业环境
配备多个模拟输入和输出通道，支持模拟信号处理
系列
AMAT 0021-53986属于应用材料公司的直流电源模块系列，适用于半导体制造设备
特征
高效稳定的电源输出
高精度模拟信号处理能力
耐用性强，适合恶劣工业环境
作用与用途
作为下护罩组件：用于等离子体刻蚀和沉积系统，防止腔室污染
作为直流电源模块：为半导体制造设备提供高效、稳定的电力支持，适用于扩散炉、刻蚀机、沉积设备等关键设备
应用领域
半导体制造
光伏器件制造
微电子制造
光学元件制造
薄膜涂层
太阳能电池制造
平板显示器制造
