描述
产品说明
0090-07135
AMAT 0090-07135是一款专为半导体制造设计的高精度控制设备，能够控制设备运行参数，如温度、压力和真空度等。其功能包括过程控制、机械部件驱动、物理量测量以及不同设备模块之间的数据传输和控制。
产品参数
抽速率：高达1200 CFM（立方英尺每分钟）。
极限真空度：10^-9 Torr。
噪音：<65 dB(A)。
振动：<0.1 g。
寿命：>40,000小时。
处理器：英特尔酷睿2双核1.5 GHz。
内存：2GB DDR400 ECC内存。
产品规格
外形尺寸：符合先进TCA（ATCA）平台的标准。
模块化设计：便于维护和升级。
兼容性：适用于多种半导体材料，具有良好的均匀性和易于维护的设计。
系列
AMAT 0090-07135属于AMAT的蚀刻腔组件系列，也可能属于CVD（化学气相沉积）或刻蚀系列。
特征
高精度控制：提供精确的气体流量、温度与压力控制，确保工艺稳定性。
高可靠性：经过严格的质量控制，适合长期稳定运行。
低噪音和低振动：优化工作环境，减少干扰。
长寿命：设计寿命超过40,000小时，降低维护成本。
模块化设计：便于维护和升级。
作用与用途
AMAT 0090-07135主要用于半导体制造工艺中的关键步骤，如晶圆清洗、刻蚀、沉积、薄膜沉积和封装等。它在提高机械可靠性、优化性能和降低维护成本方面发挥重要作用。
应用领域
该产品广泛应用于以下领域：
半导体制造：包括集成电路制造、微机电系统（MEMS）、光电子器件、功率半导体等。
消费电子：如智能手机、平板电脑等。
汽车电子：用于汽车电子控制单元（ECU）等。
工业自动化：如数控机械、冶金、石油天然气等。
其他领域：如通信设备、消费与网络通信技术、医疗电子等
ABB S-073N ALU 3BHB009884R5211 ABB S-093H 3BHB030478R0309 ABB S-123H 3BHB030479R0512 ABB UFC912A101 3BHE039426R0101 ABB 5SHY4045L0001 3BHB018162R0001 ABB S-113N 3BHB018008R0001
0090-07135
