描述
产品说明
0090-07135
AMAT 0090-07135是一款专为半导体制造设计的控制器或模块，用于控制设备运行参数（如温度、压力、真空度等），并支持多种半导体制造工艺，包括晶圆清洗、刻蚀、沉积、薄膜沉积和封装等。
产品参数
抽速率：高达1200 CFM（立方英尺每分钟）。
极限真空度：10^-9 Torr。
噪音：<65 dB(A)。
振动：<0.1 g。
寿命：>40,000小时。
处理器：英特尔酷睿双核2.1 GHz。
内存：2GB DDR4-100 ECC内存。
尺寸：符合先进TCA（ATCA）平台标准。
产品规格
外形尺寸：符合行业标准，便于模块化设计和维护。
材料：采用高质量组件，确保长期稳定运行。
兼容性：适用于多种半导体制造设备，如蚀刻腔组件、沉积系统和清洗系统。
系列
AMAT 0090-07135属于AMAT的蚀刻腔组件系列，也可能属于CVD（化学气相沉积）或刻蚀系列。
特征
高精度控制：提供精确的气体流量、温度与压力控制，确保工艺稳定性。
高可靠性：经过严格的质量控制，适合长期稳定运行。
模块化设计：便于维护和升级。
低噪音和低振动：减少对周围环境的影响。
长寿命：设计寿命超过40,000小时。
作用与用途
AMAT 0090-07135主要用于控制半导体制造设备的运行参数，确保工艺的精确性和稳定性。其具体功能包括：
控制设备运行参数（如温度、压力、真空度等）。
驱动机械部件（如泵、阀门等）。
测量物理量（如流量、厚度等）。
连接不同设备模块以实现数据传输和控制。
应用领域
AMAT 0090-07135广泛应用于以下领域：
半导体制造：晶圆清洗、刻蚀、沉积、薄膜沉积和封装等。
光电子器件制造：如激光器、LED等。
消费电子与通信网络：如微处理器、存储器等。
汽车电子与医疗电子：如传感器、控制器等。
工业自动化：如数控机械、冶金、石油天然气等。
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