描述
产品说明
0090-07135
AMAT 0090-07135是一款专为半导体制造设计的控制组件或模块，用于精确控制设备运行参数，如温度、压力、真空度等，以确保工艺的稳定性和可靠性 它属于AMAT的蚀刻腔组件系列，也可能涉及化学气相沉积（CVD）或刻蚀工艺
产品参数
抽速率：1200 CFM（立方英尺/分钟）
极限真空度：10^-9 Torr（托）
噪音：低于65 dB（A）
振动：小于0.1毫米/秒
寿命：超过40,000小时
处理能力：适用于特定尺寸和类型的硅片或晶圆
产品规格
外形尺寸：符合先进TCA（ATC）平台标准
处理材料：兼容多种半导体材料，如硅、硅锗、氮化镓和砷化镓
控制方式：支持自动化控制系统
系列
AMAT 0090-07135属于AMAT的蚀刻腔组件系列，也可能归类于CVD或刻蚀系列
特征
高精度控制：提供精确的气体流量、温度与压力控制
高可靠性：设计和制造经过严格的质量控制，确保长期稳定运行
模块化设计：便于维护和更换
长寿命：使用寿命超过40,000小时
低噪音和低振动：减少对环境的影响
作用与用途
AMAT 0090-07135在半导体制造过程中主要用于以下工艺步骤：
晶圆清洗
化学气相沉积（CVD）
干法刻蚀
薄膜沉积
封装
应用领域
半导体制造
光电子器件制造
微机电系统（MEMS）
功率半导体
消费电子
通信与网络技术
汽车电子
医疗电子
工业自动化
0090-07135
