描述
、产品概述
类别：半导体设备核心部件（推测为真空系统组件或工艺模块）；
应用领域：晶圆制造（如CVD、PVD、刻蚀设备）；
功能：可能涉及气体密封、晶圆定位、真空维持或热传导等关键工艺环节。
二、关键参数推测
物理特性
-材质：铝（Al6061/T6）、不锈钢（SS316L）或石英（真空兼容材料）；
-尺寸：定制化设计（常见尺寸如φ150 mm×100 mm或模块化接口）；
-接口标准：KF/ISO法兰、CF法兰或卡套式连接（真空系统通用）。
性能参数
-真空兼容性：超高真空（UHV，<1×10^-7 Torr）或中真空环境；
-温度范围：室温至400°C（部分高温工艺模块支持更高温度）；
-耐腐蚀性：抗等离子体轰击或腐蚀性气体（如Cl₂、SF₆）。
控制与集成
-供电需求：24 V DC（传感器或执行器常见）；
-通信协议：RS-485、EtherCAT（支持工业自动化网络）。
三、应用场景与兼容性
设备适配：可能用于ASM Endura、Centura系列平台或第三方半导体设备；
工艺关联：物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）或等离子体刻蚀工艺；
维护特性：支持快速拆卸与更换（减少设备停机时间）。
,product overview
Category:Core components of semiconductor equipment(presumably vacuum system components or process modules);
Application areas:wafer manufacturing(such as CVD,PVD,etching equipment);
Function:It may involve key process links such as gas sealing,wafer positioning,vacuum maintenance or heat conduction.
2.Key parameter estimation
Physical characteristics
-Material:aluminum(Al6061/T6),stainless steel(SS316L)or quartz(vacuum compatible material);
-Size:Customized design(common sizes such asφ150 mm×100 mm or modular interface);
-Interface standard:KF/ISO flange,CF flange or tuck type connection(common for vacuum systems).
Performance parameters
-Vacuum compatibility:ultra-high vacuum(UHV,<1×10^-7 Torr)or medium vacuum environment;
-Temperature range:room temperature to 400°C(some high temperature process modules support higher temperatures);
-Corrosion resistance:Resistant to plasma bombardment or corrosive gases(such as Cl₂,SF₆).
Control and integration
-Power supply requirements:24 V DC(common sensor or actuator);
-Communication protocol:RS-485,EtherCAT(supports industrial automation network).
3.Application scenarios and compatibility
Device adaptation:May be used for ASM Endura,Centura series platforms or third-party semiconductor devices;
Process correlation:physical vapor deposition(PVD),chemical vapor deposition(CVD),or plasma etching processes;
Maintenance features:Supports rapid disassembly and replacement(reduces equipment downtime).
ABB 型号：GBU72 3BHE055094R0002 型号：3BHE055094R0002 GBU72 型号：GBU72 型号：3BHE055094R0002 型号：3BHE031197R0001 型号：3BHB030310R0001 型号：73BHE055094R0002 GBU72 型号：73BHE055094R0002 型号：GBU72 型号：ABB PCS6000 PRODUCT FAMLIY
