描述
一、产品概述
类别：半导体设备核心部件
应用领域：晶圆制造（如化学气相沉积/CVD、物理气相沉积/PVD、刻蚀设备）；
二、核心技术参数
物理特性
-材质：铝（Al6061/T6）、不锈钢（SS316L）或陶瓷（耐高温/耐腐蚀材料）；
-尺寸：定制化设计（常见尺寸如φ300 mm×50 mm或模块化接口）；
-接口标准：CF法兰、KF法兰或卡套式连接（真空系统通用标准）。
性能参数
-真空兼容性：超高真空（UHV，<1×10^-7 Torr）至中真空环境；
-温度耐受：室温至500°C（部分高温模块支持更高温度）；
-耐腐蚀性：抗等离子体轰击及腐蚀性气体（如Cl₂、SF₆、O₂）。
控制与集成
-供电需求：24 V DC（传感器或执行器常见）；
-通信协议：RS-485、EtherCAT或Profinet（支持工业自动化网络）。
1.Product Overview
Category:Core components of semiconductor equipment
Application fields:wafer manufacturing(such as chemical vapor deposition/CVD,physical vapor deposition/PVD,etching equipment);
2.Core technical parameters
Physical characteristics
-Material:aluminum(Al6061/T6),stainless steel(SS316L)or ceramic(high temperature/corrosion resistant material);
-Size:Customized design(common sizes such asφ300 mm×50 mm or modular interface);
-Interface standard:CF flange,KF flange or tuck type connection(general standard for vacuum systems).
Performance parameters
-Vacuum compatibility:Ultra-high vacuum(UHV,<1×10^-7 Torr)to medium vacuum environment;
-Temperature tolerance:room temperature to 500°C(some high temperature modules support higher temperatures);
-Corrosion resistance:Resistant to plasma bombardment and corrosive gases(such as Cl₂,SF₆,O₂).
Control and integration
-Power supply requirements:24 V DC(common sensor or actuator);
-Communication protocol:RS-485,EtherCAT or Profinet(supports industrial automation networks).
ABB 型号：GBU72 3BHE055094R0002 型号：3BHE055094R0002 GBU72 型号：GBU72 型号：3BHE055094R0002 型号：3BHE031197R0001 型号：3BHB030310R0001 型号：73BHE055094R0002 GBU72 型号：73BHE055094R0002 型号：GBU72 型号：ABB PCS6000 PRODUCT FAMLIY
