描述
产品说明
001-4130-03
Brooks Automation 001-4130-03是一款专为半导体制造中的晶圆对准操作设计的控制器模块，通过先进的定位算法和伺服驱动器，实现纳米级的对准精度 其主要功能包括控制晶圆的X、Y和θ方向的精确移动，以确保晶圆与目标位置的对准 此外，该模块还支持多种编程语言，用户可自定义控制逻辑，以满足不同工艺需求
产品参数
对准精度：±0.1μm（纳米级）
重复性：X/Y方向±0.05μm，θ方向±0.1mrad
扫描范围：X/Y方向±20mm，θ方向±10°
速度：X/Y方向100mm/s，θ方向10°/s
搬运速度：最高可达1 m/s
负载能力：5 kg
工作温度范围：0°C至+50°C
防护等级：IP65，具备防尘、防震和防潮功能
通信接口：RS-232、RS-485、Ethernet
产品规格
尺寸：500 mm x 400 mm x 300 mm
重量：20 kg
模块化设计：便于安装、维护和升级
系列与特征
Brooks Automation 001-4130-03属于Brooks Automation的VCE系列，该系列以高精度、高可靠性和易用性著称 其特点包括：
高精度对准：采用先进的控制算法和伺服驱动器，实现亚微米级的对准精度
用户友好性：配备直观的用户界面和易于使用的软件，简化操作
高可靠性：支持冗余设计和故障自诊断功能，确保长时间运行的稳定性
多轴控制：能够同时控制多个机器人轴，满足复杂运动需求
快速响应：具备快速响应时间，适应高速生产节奏
作用与用途
该产品主要用于半导体制造中的晶圆对准操作，包括但不限于光刻、刻蚀、沉积等工艺 其高精度和高可靠性使其成为半导体生产线中的关键设备，确保晶圆在加工过程中的精确对齐，从而提高生产效率和产品质量
应用领域
Brooks Automation 001-4130-03广泛应用于以下领域：
半导体制造：用于晶圆传送、光刻机、刻蚀机和离子注入机等设备
生命科学：用于高科技行业中的自动化控制和精密定位
其他高科技行业：如光掩模对准器、精密定位系统等
001-4130-03
