描述
一、核心功能与定位
产品类型
功能：复合真空计，结合反磁控（冷阴极）与皮拉尼传感器技术，适用于超高真空至大气压的宽量程压力测量。
兼容性：支持工业标准法兰接口（如ISO-KF），适配半导体制造、真空镀膜、航天等领域。
核心特性
宽量程覆盖：测量范围5×10⁻⁹mbar至1000 mbar（3.8×10⁻⁹Torr至大气压），无需切换传感器。
高可靠性：无丝极烧毁风险，支持长期稳定运行。
紧凑设计：一体化结构，降低安装复杂度。
二、技术参数
测量性能
精度：
1×10⁻⁸至100 mbar：±30%（氮气环境下）。
重复性：±5%（1×10⁻⁸至100 mbar）。
响应时间：
p>10⁻⁶mbar：<10 ms；
p=10⁻⁸mbar：≈1000 ms。
环境适应性
运行温度：+5°C至+55°C。
存储温度：–40°C至+65°C。
烘烤温度：150°C（法兰处）。
电气规格
电源电压：+15至+30 V DC。
功耗：≤2 W。
输出信号：对数模拟信号（0.6 V/decade），电压范围0…+10.5 V。
机械结构
法兰类型：ISO-KF（DN40）。
密封选项：FPM（氟橡胶）或金属密封。
重量：700 g。
三、功能特性
复合传感器优势
冷阴极技术：覆盖10⁻⁹至10⁻³mbar，适合高真空环境。
皮拉尼技术：覆盖10⁻³至10³mbar，适用于中高真空及大气压测量。
自动切换：根据压力范围自动选择传感器模式，无需人工干预。
操作与指示
LED指示灯：高压状态时亮起（绿色）。
错误信号：
无电源：输出电压<0.5 V；
皮拉尼丝断裂：输出电压>9.5 V。
1.Core functions and positioning
Product Type
Function:Compound vacuum gauge,combined with reverse magnetron(cold cathode)and Pirani sensor technology,suitable for wide range pressure measurements from ultra-high vacuum to atmospheric pressure.
Compatibility:Supports industry-standard flange interfaces(such as ISO-KF),suitable for semiconductor manufacturing,vacuum coating,aerospace and other fields.
Core features
Wide range coverage:Measuring range 5×10⁻⁹mbar to 1000 mbar(3.8×10⁻⁹Torr to atmospheric pressure),no need to switch sensors.
High reliability:no risk of wire pole burning,supports long-term and stable operation.
Compact design:integrated structure to reduce installation complexity.
2.Technical parameters
Measure performance
Accuracy:
1×10⁻⁸to 100 mbar:±30%(in nitrogen environment).
Repeatability:±5%(1×10⁻⁸to 100 mbar).
Response time:
p>10⁻⁶mbar:<10 ms;
p=10⁻⁸mbar:≈1000 ms.
Environmental adaptability
Operating temperature:+5°C to+55°C.
Storage temperature:–40°C to+65°C.
Baking temperature:150°C(at flange).
Electrical specifications
Power supply voltage:+15 to+30 V DC.
Power consumption:≤2 W.
Output signal:logarithmic analog signal(0.6 V/decade),voltage range 0…+10.5 V.
Mechanical structure
Flange type:ISO-KF(DN40).
Sealing options:FPM(fluoroelastomer)or metal seal.
Weight:700 g.
3.Functional characteristics
Advantages of composite sensors
Cold cathode technology:Covering 10⁻⁹to 10⁻³mbar,suitable for high vacuum environments.
Pirani Technology:Covering 10⁻³to 10³mbar,suitable for medium and high vacuum and atmospheric pressure measurements.
Automatic switching:Automatically select the sensor mode according to the pressure range,no manual intervention is required.
Operation and Instructions
LED indicator:Lights up(green)in high voltage state.
Error signal:
No power supply:output voltage<0.5 V;
Piranis break:Output voltage>9.5 V.
