描述
产品核心摘要
- 型号: 810-002895-203
- 品牌: LAM Research（泛林，原 Ontrak）
- 全称: PCB Super slot valves 超级插槽阀门控制 PCB 板
- 核心功能: 控制设备真空 / 工艺气路电磁阀，执行阀门时序、状态采集与反馈
- 产品类型: 半导体设备 PCB 控制板卡
关键技术规格
表格
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 完整 PN | 810-002895-203 |
| 品牌 | LAM Research (Ontrak) |
| 名称 | Super Slot Valves PCB，阀控制板 |
| 设备平台 | Lam Ontrak 湿法清洗 / 刻蚀机台 |
| 功能 | 电磁阀驱动、阀门状态回读、联锁逻辑、气路时序控制 |
| 安装形式 | 机台插槽式 PCB 板卡 |
| 防护等级 | IP20，安装于设备内部机柜 |
| 供电 | 机台内部低压直流供电 |
| 接口 | 端子排连接电磁阀、位置反馈传感器、机台背板通讯 |
| 工作环境 | 半导体洁净机柜，温度 18~28℃，低粉尘 |
产品深度介绍
B) 技术定位直入：810-002895-203 是 Lam 收购 Ontrak 之后的机台配套阀控板，用于湿法清洗 / 刻蚀设备的Super Slot 阀门阵列控制。 板卡负责驱动多路工艺气、真空电磁阀，同时读取阀门位置反馈信号，参与机台安全联锁与工艺时序。晶圆工艺的气体 / 真空回路动作时序全部由这块板卡执行，阀门异常会直接触发机台 hold，中断晶圆加工。 洁净 Fab 工况下，板卡 MTBF 较高；失效诱因多为电磁阀线圈反向电动势击穿板载驱动芯片、潮湿腐蚀、长期静电累积。半导体产线一般常备该板卡作为机台快速换件，减少单台机台停机时长。
