描述
产品简要说明
Marposs 6137000700是马波斯(MARPOSS)专为高洁净度环境设计的激光测头,采用蓝光半导体光源与相位检测技术,可穿透透明/半透明材料表面,实现硅晶圆、光学镜片等精密元件的非破坏性厚度测量。
产品详细说明
核心传感技术
蓝光干涉测量
穿透式检测:波长450nm的蓝光可穿透0.1-5mm厚度的石英玻璃、蓝宝石基板等材料
相位差计算:通过反射光波前相位差计算材料真实厚度,误差<0.02μm
智能表面识别
多反射层区分:自动识别叠加工件(如复合涂层)的独立界面信号。
动态焦点调整:内置压电陶瓷镜组,毫秒级适配±5°角度偏差工件
系统集成特性
真空兼容设计:金属陶瓷封装可承受10⁻³^Pa极限真空环境。
数据输出协议:同步支持ASCII与二进制流,适配KEBA、KUKA机器人控制系统。
产品概述:Marposs 6137000700
作为OptoScan系列的高端测头,其蓝光穿透测量技术与真空环境适应性,突破了传统激光三角测量法“无法检测透明材料”的瓶颈,成为半导体封装、光学元件制造等领域的“隐形质量卫士”。
技术规格:Marposs 6137000700
参数类别技术指标
光源类型蓝光LED(波长450nm)
测量速度500Hz(连续模式)/1kHz(脉冲模式)
安装方式ISO 10E40标准法兰(兼容3190538785测量臂)
抗振等级50Hz-2000Hz扫频振动下信噪比>40dB