Marposs E9066 N-15 E9906n

激光干涉原理

采用He-Ne激光源(波长632.8nm),通过迈克尔逊干涉仪结构实现位移测量,分辨率可达0.01μm。

动态补偿算法:实时消除环境振动与空气扰动引起的信号噪声。

多模式适配

单点/连续扫描:支持静态尺寸检测(如直径测量)与动态轮廓跟踪(如曲面加工)。

多传感器组网:最多可同步控制8个传感器,实现复杂几何形位误差的全域补偿。

环境适应性与可靠性

描述

产品简要说明

Marposs E9066 N-15 E9906n是马波斯(MARPOSS)推出的高性能非接触式位移传感器,专为超精密加工场景设计,集成激光干涉测量与智能信号处理技术,可实现纳米级位移监测与多轴同步误差补偿,显著提升数控机床加工精度与效率。

产品详细说明

核心测量技术

激光干涉原理

采用He-Ne激光源(波长632.8nm),通过迈克尔逊干涉仪结构实现位移测量,分辨率可达0.01μm。

动态补偿算法:实时消除环境振动与空气扰动引起的信号噪声。

多模式适配

单点/连续扫描:支持静态尺寸检测(如直径测量)与动态轮廓跟踪(如曲面加工)。

多传感器组网:最多可同步控制8个传感器,实现复杂几何形位误差的全域补偿。

环境适应性与可靠性

温度自适应:内置热敏电阻阵列,自动补偿-10℃~50℃温差引起的测量漂移。

抗干扰设计:光学腔体采用不锈钢真空镀膜,抑制电磁场干扰(抗扰度>80dB)

产品概述:Marposs E9066 N-15 E9906n

作为马波斯Aerol系列的旗舰测量单元,E9066 N-15 E9906n通过激光干涉技术与多轴智能补偿,解决了传统接触式测头“易磨损、无法实时修正”的难题,尤其适用于航空航天零件超精密磨削、半导体晶圆切割等对形位公差要求严苛的场景。

技术规格:Marposs E9066 N-15 E9906n

参数类别技术指标

测量范围0-10mm(可扩展至20mm)

重复性±0.05μm(标准偏差)

接口协议RS-232/RS-485+EtherNet/IP

供电需求24V DC(功耗<15W)