描述
产品简要说明
Marposs E9066 N-15 E9906n是马波斯（MARPOSS）推出的高性能非接触式位移传感器，专为超精密加工场景设计，集成激光干涉测量与智能信号处理技术，可实现纳米级位移监测与多轴同步误差补偿，显著提升数控机床加工精度与效率。
产品详细说明
核心测量技术
激光干涉原理
采用He-Ne激光源（波长632.8nm），通过迈克尔逊干涉仪结构实现位移测量，分辨率可达0.01μm。
动态补偿算法：实时消除环境振动与空气扰动引起的信号噪声。
多模式适配
单点/连续扫描：支持静态尺寸检测（如直径测量）与动态轮廓跟踪（如曲面加工）。
多传感器组网：最多可同步控制8个传感器，实现复杂几何形位误差的全域补偿。
环境适应性与可靠性
温度自适应：内置热敏电阻阵列，自动补偿-10℃～50℃温差引起的测量漂移。
抗干扰设计：光学腔体采用不锈钢真空镀膜，抑制电磁场干扰（抗扰度>80dB）
产品概述:Marposs E9066 N-15 E9906n
作为马波斯Aerol系列的旗舰测量单元，E9066 N-15 E9906n通过激光干涉技术与多轴智能补偿，解决了传统接触式测头“易磨损、无法实时修正”的难题，尤其适用于航空航天零件超精密磨削、半导体晶圆切割等对形位公差要求严苛的场景。
技术规格:Marposs E9066 N-15 E9906n
参数类别技术指标
测量范围0-10mm（可扩展至20mm）
重复性±0.05μm（标准偏差）
接口协议RS-232/RS-485+EtherNet/IP
供电需求24V DC（功耗<15W）
