描述
1.产品定位与核心功能
VALM-818401推测为超高真空兼容型阀门定位器，定位航空航天、半导体真空工艺及科研设备，聚焦10⁻¹⁰Torr级真空密封、材料挥发控制与磁悬浮无接触驱动。其核心功能包括：
控制性能：
-位置精度：±0.02%（全行程范围内，纳米级分辨率）；
-响应时间：≤8ms（真空环境下零滞后响应）。
环境适应性：
-真空等级：兼容超高真空（UHV）至大气压切换；
-温度范围：-150°C至+200°C（宽温区适应）。
2.关键技术参数
项目典型规格（参考同类产品）
输入/输出
-输入信号：4–20mA DC（支持EtherCAT、Profinet）；
-输出类型：磁悬浮阀芯+6061-T6铝合金阀体（蒸气压<1×10⁻¹⁰Torr）；
供电要求
-电压范围：24V DC（本安认证Ex ia IIC T4）；
-功耗：≤8W（峰值），休眠模式<0.01W；
通信接口
-数字总线：SEMI E30（半导体真空设备协议）；
-无线扩展：UWB（超宽带）精准定位（±1mm）。
3.功能特性
真空兼容设计：
-密封体系：多级CF法兰金属密封（氦质谱检漏<1×10⁻¹²Torr·L/s）；
-材料选择：氧含量<10 ppm的高纯铝+钛合金紧固件（防冷焊）。
磁悬浮驱动技术：
-无接触传动：永磁体阵列+霍尔效应反馈（摩擦损耗趋近于零）；
-稳定性：共振频率抑制算法（抗航天器振动≥5g）。
智能诊断：
-泄漏监测：集成四极质谱仪（实时检测≥1×10⁻¹¹Torr局部泄漏）；
-材料挥发分析：红外光谱传感器（检测金属/有机物析出）。
1.Product positioning and core functions
VALM-818401 is speculated to be an ultra-high vacuum compatible valve positioner that locates aerospace,semiconductor vacuum processes and scientific research equipment,focusing on 10⁻¹⁰Torr-level vacuum seal,material volatility control and magnetic levitation contactless drive.Its core functions include:
Control performance:
-Position accuracy:±0.02%(within the entire stroke range,nano-scale resolution);
-Response time:≤8ms(zero hysteresis response in vacuum environment).
Environmental adaptability:
-Vacuum level:compatible with ultra-high vacuum(UHV)to atmospheric pressure switching;
-Temperature range:-150°C to+200°C(wide temperature adaptation).
2.Key technical parameters
Project Typical specifications(refer to similar products)
Input/Output
-Input signal:4–20mA DC(supports EtherCAT and Profinet);
-Output type:Magnetic levitation valve core+6061-T6 aluminum alloy valve body(vapor pressure<1×10⁻¹⁰Torr);
Power supply requirements
-Voltage range:24V DC(Intrinsically safe certified Ex ia IIC T4);
-Power consumption:≤8W(peak),sleep mode<0.01W;
Communication interface
-Digital bus:SEMI E30(Semiconductor Vacuum Equipment Protocol);
-Wireless expansion:UWB(ultra-wideband)precise positioning(±1mm).
3.Functional characteristics
Vacuum compatible design:
-Seal system:multi-stage CF flange metal seal(helium mass spectrometry leak detection<1×10⁻¹²Torr·L/s);
-Material selection:High-purity aluminum+titanium alloy fasteners(anti-cold welding)with oxygen content<10 ppm.
Magnetic levitation drive technology:
-Contactless transmission:permanent magnet array+Hall effect feedback(friction loss approaches zero);
-Stability:Resonance frequency suppression algorithm(anti-spacecraft vibration≥5g).
Intelligent Diagnosis:
-Leak monitoring:Integrated quadrupole mass spectrometer(real-time detection of local leakage of≥1×10⁻¹¹Torr);
-Material volatility analysis:infrared spectral sensor(detection of metal/organic precipitation).
