描述
Terasaki ESM-103 B技术数据解析
一、基础信息
类型：微型静电场测量传感器（推测为静电场检测或环境监测设备）
系列：ESM系列（Environmental/Surface Monitoring）
功能定位：用于高精度静电场测量、表面电荷分析或工业环境静电监测，适用于半导体制造、洁净室、医疗设备等领域。
二、核心参数
测量特性
测量范围：±5 kV（静电场强度）。
分辨率：0.1 V/m（高灵敏度检测）。
精度：±1%（全量程）。
响应时间：≤1 ms（快速动态响应）。
电气特性
工作电压：5 V DC（低功耗设计）。
功耗：≤200 mW。
输出信号：
模拟输出：0-5 V（线性对应测量范围）。
数字接口：I²C（可选配）。
物理规格
尺寸：25 mm×15 mm×8 mm（紧凑型封装）。
重量：≤15 g。
防护等级：IP54（防尘防水，适用于工业环境）。
环境适应性
工作温度：-10°C至+50°C。
湿度范围：5%至95%RH（非冷凝）。
抗干扰能力：EMC等级符合IEC 61000-4-2（ESD 8 kV）。
三、功能特性
核心功能
静电场检测：非接触式测量表面静电场强度，支持动态跟踪。
温度补偿：内置温漂校正算法，确保高温环境下的测量稳定性。
自检功能：开机自动校准，检测传感器状态（如信号漂移、连接异常）。
通信与扩展
协议兼容性：支持I²C、SPI接口，可集成至工业控制系统或数据采集平台。
模块化设计：可外接滤波器或放大器，扩展测量范围至±20 kV。
安全与可靠性
过压保护：输入端集成TVS二极管（耐压30 V）。
长期稳定性：零点漂移≤0.5%/年。
Terasaki ESM-103 B Technical data analysis
1.Basic information
Type:Micro electrostatic field measurement sensor(presumably electrostatic field detection or environmental monitoring equipment)
Series:ESM Series(Environmental/Surface Monitoring)
Functional positioning:used for high-precision electrostatic field measurement,surface charge analysis or industrial environment electrostatic monitoring,suitable for semiconductor manufacturing,clean rooms,medical equipment and other fields.
2.Core parameters
Measurement characteristics
Measurement range:±5 kV(static field intensity).
Resolution:0.1 V/m(high sensitivity detection).
Accuracy:±1%(full range).
Response time:≤1 ms(fast dynamic response).
Electrical characteristics
Operating voltage:5 V DC(low power design).
Power consumption:≤200 mW.
Output signal:
Analog output:0-5 V(linear corresponding to measurement range).
Digital interface:I²C(optional).
Physical specifications
Dimensions:25 mm×15 mm×8 mm(compact package).
Weight:≤15 g.
Protection level:IP54(dust-proof and waterproof,suitable for industrial environments).
Environmental adaptability
Operating temperature:-10°C to+50°C.
Humidity range:5%to 95%RH(non-condensing).
Anti-interference capability:EMC rating complies with IEC 61000-4-2(ESD 8 kV).
3.Functional characteristics
Core functions
Electrostatic field detection:non-contact measurement of surface electrostatic field strength,supporting dynamic tracking.
Temperature compensation:Built-in temperature drift correction algorithm to ensure measurement stability in high temperature environments.
Self-test function:Automatic calibration when powered on,detect sensor status(such as signal drift,connection abnormality).
Communication and Extension
Protocol compatibility:supports I²C,SPI interfaces,and can be integrated into industrial control systems or data acquisition platforms.
Modular design:external filter or amplifier can be connected to extend the measurement range to±20 kV.
Safety and reliability
Overvoltage protection:Integrated TVS diode at the input(30 V withstand voltage).
Long-term stability:zero point drift≤0.5%/year.
