描述
产品说明
7702
ZYGO 7702是一款基于氦氖技术的干涉测量系统，属于ZYGO公司的ZMI系列产品该设备采用先进的干涉测量技术，能够实现亚纳米级的测量精度，适用于高级表面轮廓和尺寸测量其设计注重实验室和生产环境的优化，具有高稳定性和可靠性
产品参数
激光波长：632.8 nm
最大测量范围：300 mm
分辨率：1 nm
输出功率：>400µW
光束直径：6 mm（25 mm）
参考频率：20 MHz±1600 Hz
工作温度：15-30℃
非凝结状态湿度：<90%
产品规格
外形尺寸：100 mm x 80 mm x 66 mm
光源：633 nm氦氖激光
测量模式：相位模式、强度模式
软件支持：ZYGO MetroPro
系列
ZYGO 7702属于ZYGO的ZMI系列激光头产品，该系列还包括其他型号如ZYGO 7714和ZYGO 7724，这些型号在频率稳定性和功率输出方面有所不同
特征
高精度测量：提供亚纳米级的测量精度，适用于精密加工和质量控制
高稳定性：采用优质材料和精密制造工艺，确保设备长时间内保持稳定性和可靠性
多功能性：支持表面形貌测量、光学元件分析和三维测量等多种应用
光学隔离功能：防止激光器受干扰，延长使用寿命并提高灵活性
快速启动：从开启到激光输出仅需几秒钟
作用与用途
ZYGO 7702主要用于以下领域：
半导体制造：晶圆检测、掩模计量和各种应用
光学元件分析：测量光学滤波器、棱镜、波导等
精密机械加工：测量工件表面的粗糙度、形状和纹理
科学研究：用于气体浓度、污染物检测和分析
工业自动化：生产线上的质量检测
环境监测：检测气体浓度和污染物
军事与国防：激光武器、激光雷达等
应用领域
ZYGO 7702广泛应用于多个领域，包括但不限于：
半导体行业：用于高密度半导体加工工件的检测
光学行业：测量光学元件的表面形貌和波前畸变
工业自动化：提供高精度的测量解决方案
科学研究：用于气体浓度检测和污染物分析
环境监测：检测气体浓度和污染物
军事与国防：激光武器和激光雷达的应用
