描述
产品说明
7702
ZYGO 7702是一款先进的干涉测量系统，采用氦氖激光技术，结合先进的干涉测量技术，提供亚纳米级的测量精度和高稳定性 其设计旨在满足半导体制造、光学元件分析及精密加工等高精度需求
产品参数
激光波长：632.8 nm
最大测量范围：300 mm
测量分辨率：1 nm
输出功率：大于400µW
光路类型：Michelson干涉仪
工作温度范围：15-30℃
工作湿度范围：非凝结状态，<90%RH
产品规格
尺寸：100 mm x 80 mm x 60 mm
激光头模块型号：8070-0102-05
光束直径：6 mm（对应25 mm测量范围）
系列
ZYGO 7702属于ZYGO公司的ZMI系列产品，该系列以其高精度和高稳定性著称
特征
高精度：提供亚纳米级测量精度，适用于精密加工和质量控制
高稳定性：采用氦氖激光技术和精密制造工艺，确保长时间运行的稳定性和可靠性
多功能性：支持多种测量模式，包括表面形貌测量、光学元件分析和三维测量
快速启动：从激光输出到开始测量仅需几秒钟
光学隔离功能：防止激光器受干扰，延长使用寿命并提高灵活性
作用与用途
ZYGO 7702主要用于以下方面：
表面形貌测量：用于检测工件表面粗糙度、形状和纹理
光学元件分析：适用于光学滤波器、棱镜等精密光学元件的表面形貌测量
三维测量：基于激光3维相移干涉法，完成复杂任务
半导体检测：用于晶圆检测、掩模计量等
应用领域
ZYGO 7702的应用领域非常广泛，包括但不限于以下行业：
半导体制造：用于检测线宽缩小的高密度半导体加工工件
光学制造：用于光学元件的精密测量
工业自动化：用于生产线的质量检测
科学研究：用于气体浓度、污染物检测等
环境监测：用于气体浓度和污染物检测
