描述
1.产品定位与分类
ZYGO 7702 8070-0102是ZYGO公司推出的高精度光学干涉测量系统核心组件，通常属于激光干涉仪（Laser Interferometer）或光学表面轮廓仪（Optical Profiler）的传感器模块。其设计目标为：
纳米级精度测量：适用于光学元件、半导体晶圆、精密机械零件的表面形貌或位移测量。
非接触式检测：避免传统接触式测量（如探针）对样品表面的损伤。
多参数分析：支持表面粗糙度、平面度、曲率半径、薄膜厚度等参数的同步测量。
典型应用场景：
光学制造：透镜、反射镜、窗口片的表面质量检测。
半导体行业：晶圆表面平整度、光刻胶涂层厚度测量。
材料科学：薄膜应力、涂层均匀性分析。
精密加工：机床导轨直线度、主轴回转误差校准。
2.关键技术参数
2.1基础规格
参数项详细说明
型号变体7702 8070-0102（可能包含子型号，如后缀“-0102”表示特定波长、测量范围或软件版本）
尺寸传感器头：约Φ100mm×200mm（含接口）
控制器：标准19英寸机架式（4U高度）
重量传感器头：约1.5kg
控制器：约15kg
防护等级IP40（标准版，适用于实验室环境）
可选IP54（需定制防护罩）
工作温度15℃~35℃（恒温环境推荐）
湿度：<70%RH（非冷凝）
2.2光学性能参数
参数项详细说明
光源类型He-Ne激光器（632.8nm波长）
可选半导体激光器（如532nm绿光）
测量范围垂直方向（Z轴）：0.1nm~10mm（依配置不同）
水平方向（x-y）：100mm×100mm（视场可调）
分辨率垂直分辨率：<0.1nm（RMS）
水平分辨率：依像素尺寸（如0.65μm/pixel）
重复性<0.05nm（标准测试条件下）
线性度±0.01%of full scale（经过校准）
测量速度单点测量：<1ms
全视场扫描：10s~60s（依分辨率和视场大小）
1.Product Positioning and Classification
The ZYGO 7702 8070-0102 is the core component of ZYGO’s high-precision optical interferometry system.It is typically used as a sensor module for laser interferometers or optical profilers.Its design goals are:
Nanometer-level precision measurement:Suitable for surface topography or displacement measurement of optical components,semiconductor wafers,and precision mechanical parts.
Non-contact inspection:Avoids damage to the sample surface caused by traditional contact measurement methods(such as probes).
Multi-parameter analysis:Supports simultaneous measurement of surface roughness,flatness,radius of curvature,film thickness,and other parameters.
Typical Applications:
Optical manufacturing:Surface quality inspection of lenses,mirrors,and windows.
Semiconductor industry:Wafer surface flatness and photoresist coating thickness measurement.
Materials science:Thin film stress and coating uniformity analysis.
Precision machining:Machine tool guideway straightness and spindle rotation error calibration.2.Key Technical Specifications
2.1 Basic Specifications
Parameter Item Detailed Description
Model Variants 7702 8070-0102(may include sub-models,such as the suffix”-0102″to indicate a specific wavelength,measurement range,or software version)
Dimensions Sensor Head:Approximately 100 mm×200 mm(including connectors)
Controller:Standard 19-inch rack-mount(4U height)
Weight Sensor Head:Approximately 1.5 kg
Controller:Approximately 15 kg
Protection Rating IP40(standard version,suitable for laboratory environments)
IP54 optional(custom protective cover required)
Operating Temperature 15°C to 35°C(constant temperature recommended)
Humidity:<70%RH(non-condensing)
2.2 Optical Performance Parameters
Parameter Item Detailed Description
Light Source Type He-Ne laser(632.8 nm wavelength)
Optional semiconductor laser(e.g.,532 nm green light)
Measurement Range Vertical(Z-axis):0.1nm~10mm(depending on configuration)
Horizontal(x-y):100mm×100mm(adjustable field of view)
Resolution:Vertical resolution:<0.1nm(RMS)
Horizontal resolution:Dependent on pixel size(e.g.,0.65μm/pixel)
Repeatability:<0.05nm(under standard test conditions)
Linearity:±0.01%of full scale(calibrated)
Measurement speed:Single point measurement:<1ms
Full field of view scan:10s~60s(depending on resolution and field of view)
ABB Model: GBU72 3BHE055094R0002 Model: 3BHE055094R0002 GBU72 Model: GBU72 Model: 3BHE055094R0002 Model: 3BHE031197R0001 Model: 3BHB030310R0001 Model: 73BHE055094R0002 GBU72 Model: 73BHE055094R0002 Model: GBU72 Model: ABB PCS6000 PRODUCT FAMLIY ABB 5SHY4045L0006 3BHB030310R0001 3BHE039203R0101 GVC736CE101
