描述
产品说明
ZMI-2002
ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J是一款专为高精度测量设计的双轴测量板，采用干涉测量技术，能够提供亚纳米级的测量精度。其主要功能包括测量物体的位置和位移，适用于光学元件、半导体晶圆、精密机械部件等的表面形貌和轮廓测量。
产品参数
测量范围：X轴和Y轴均为50 mm。
测量精度：±0.1µm（0.000099英寸）。
工作温度范围：-20℃到50℃。
电源电压：220VAC，工作频率50Hz。
最大功率：2000W。
接口类型：6U VME接口。
尺寸：230 mm x 160 mm x 40 mm。
重量：1.2千克。
产品规格
外壳材质：铝合金。
通信接口：支持VME、ISA总线。
数字信号处理：内置数字信号处理器，减少噪声并提供高质量测量数据。
系列
ZYGO ZMI-2002属于ZYGO ZMI系列，该系列还包括其他型号如ZMI-4104、ZMI-4000等，均具有高精度和高稳定性的特点。
特征
双轴设计：提供两个独立的测量通道，能够同时测量两个正交轴上的位移。
高精度：采用ZYGO专有的干涉测量技术，实现亚纳米级分辨率。
高稳定性：通过高品质元件和可靠设计确保长期稳定运行。
简化接口：P2接口简化了与伺服卡或电机控制器的连接。
扩展性：支持模块化扩展，可根据需求增加功能模块。
作用与用途
ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J主要用于以下领域：
光学测量：测量光学元件的表面形貌和轮廓。
半导体制造：测量晶圆的平整度、表面粗糙度等关键尺寸。
精密制造：测量精密机械部件的轮廓和表面粗糙度。
科学研究和质量控制：在高精度测量中提供可靠的数据支持。
应用领域
ZYGO ZMI-2002广泛应用于以下行业：
光学：光学仪器、眼镜、相机镜头的生产。
半导体：芯片制造、封装测试。
精密制造：机械冶金、汽车制造、电子制造等。
工业自动化：数控机床、机器人导航、无人驾驶等。
科研与教育：科学研究、质量控制、教学实验。
ZMI-2002
