描述
ZYGO ZMI-2002（订货号8020-0211-1-J）是一款双轴6U VME干涉测量板，属于ZYGO ZMI-2000系列，用于纳米级位置与位移测量，多用于精密制造、半导体与光学检测系统。
一、基础信息
型号：ZMI-2002
订货号：8020-0211-1-J
品牌：ZYGO
类型：双轴干涉测量板（6U VME总线）
轴数：2轴（X/Y同步）
状态：工业精密测量模块，以备件/翻新流通为主
安装：6U VME板卡，插槽式安装
二、核心规格
表格
参数项说明
测量分辨率＜1 nm
测量精度±0.1μm
测量范围单轴最大50 mm（典型）
数据时滞数据年龄约335 ns；时滞不确定度补偿后约±1.2 ns
同步精度轴间同步不确定度≤1.7 ns
最大速度2.1 m/s（启用双通干涉仪）
最大加速度980 m/s²（100 g）
时间分辨率25 ns
数据格式位置36位补码；速度32位补码；时间32位补码
电源+5 V DC±5%，约3.5 A
总线6U VME（VMEbus Rev.C.1），支持A16/A24寻址、D16/D32数据传输
扩展接口32位P2总线，支持7.7 MHz多轴互联
工作温度0℃～+40℃（最佳精度20℃±2℃）
防护IP54；存储-40℃～+85℃
尺寸/重量229×114×29 mm；约1.2 kg
三、主要功能
双轴同步干涉测量：同时采集X/Y轴位移，支持纳米级闭环控制与面形/轮廓检测。
高速信号处理：内置DSP处理干涉信号，低噪声、低时滞，适配高动态运动测量。
多接口互联：VME/ISA总线与P2接口并行，支持多轴扩展与系统集成。
自诊断与容错：支持参考/测量信号、PLL/DLL、掉电/闪烁等状态监测与错误上报。
系统同步：时钟输入/输出，实现多板卡与外部系统的精准同步。
