描述
产品说明
ZMI-4104
ZMI-4104基于干涉原理，采用ZYGO ZMI系列激光源驱动，是一款高精度光学干涉测量设备，用于位移测量。它具有亚纳米级分辨率，适用于精密工程、科学研究、半导体制造等领域。
产品参数
测量误差：小于0.25µm，分辨率为0.1nm。
最大测量速度：10 mm/s。
支持模块化扩展，兼容VME或VME64x机箱。
输入电压：最低1.0V。
产品规格
光源：ZYGO ZMI系列激光源。
板卡类型：6U VME或6U VME64x。
兼容激光器：7705、7707、7714和7724。
系列
ZMI-4104属于ZYGO ZMI系列，该系列还包括其他型号如ZMI-2002等。
特征
高精度测量：误差小于0.25µm，分辨率达到0.1nm。
稳定性高：设备设计确保长期稳定运行。
快速测量：最大测量速度可达10 mm/s。
自动校准功能：提高测量精度。
数字输出：支持多种数据接口。
作用与用途
ZMI-4104主要用于精密测量和控制系统，特别是在需要高精度位置和位移测量的场景中。其应用包括但不限于：
半导体制造。
精密工程与机械加工。
光学测量与检测。
科学研究（如物理、化学、生物实验）。
航空航天领域（如精密装配和测试）。
应用领域
ZMI-4104广泛应用于多个领域，包括但不限于：
半导体制造。
精密加工。
纳米技术。
科学研究。
航空航天。
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