描述
产品说明
ZMI-4104
ZYGO ZMI-4104是一款基于干涉原理的高精度位移测量设备，采用ZYGO ZMI系列激光源驱动的干涉仪，用于计算位移它具有亚纳米级分辨率，适用于精密工程、科学研究及半导体制造等领域
产品参数
测量误差：小于0.25µm
分辨率：0.1nm
测量范围：+100µm
最大测量速度：10mm/s
光源：ZYGO ZMI系列激光源
板卡类型：6U VME或6U VME64x
兼容激光器：7705、7706、7707和7712
产品规格
支持模块化扩展，最多可扩展至64个测量轴
高稳定性与低噪声性能，确保测量结果的准确性
提供数字输出信号，支持与控制系统和数据采集系统的集成
支持多种接口，如以太网接口和串行接口
系列
ZYGO ZMI-4104属于ZYGO ZMI系列，该系列还包括其他型号如ZMI-2002等
特征
高精度测量：误差小于0.25µm，分辨率高达0.1nm
模块化设计：支持多轴扩展，适用于复杂测量需求
稳定性高：具备低噪声性能和高稳定性，适合长时间运行
数据处理能力强：支持实时数据输出和循环误差补偿功能
作用与用途
ZYGO ZMI-4104主要用于精密测量和控制系统，特别是在需要高精度位置和位移测量的场景中它广泛应用于以下领域：
半导体制造
光学测量
机械加工
航空航天
纳米技术
应用领域
ZYGO ZMI-4104的应用领域包括但不限于：
科学研究：用于材料表面形貌、厚度及折射率等参数的测量
工业自动化：用于精密加工和控制
半导体行业：用于晶圆检测和加工中的精密定位
光学检测：用于光学元件的精密测量
航空航天：用于飞行器部件的精密测量
