描述
产品说明
ZMI-4104
ZYGO ZMI-4104是一款高精度位移干涉仪，采用ZYGO ZMI系列激光源驱动，通过干涉测量技术实现亚纳米级的测量精度 其设计用于精密测量和控制系统中，特别是在需要高精度位置和位移测量的场景中
产品参数
测量精度：小于0.25µm，分辨率达到0.1nm
测量范围：+100µm，适用于多种应用场景
光源类型：ZYGO ZMI系列激光源
最大测量速度：10mm/s，确保快速测量能力
产品规格
模块化设计：支持模块化添加到VME或VME64x机箱，扩展性较强
兼容性：兼容多种激光器，如7705、7704、7712和7714
接口类型：支持多种数据接口，便于数据处理和分析
系列
ZYGO ZMI-4104属于ZYGO ZMI系列，该系列还包括其他型号如ZMI-2002和ZMI-501等，均提供高精度测量功能
特征
高精度：测量误差小于0.25µm，分辨率达到0.1nm，确保测量结果的准确性
高稳定性：设备运行稳定，长期使用仍能保持高精度
高采样率：支持快速测量，最大测量速度可达10mm/s
模块化设计：支持多轴测量，可扩展至多达64个测量轴
作用与用途
ZYGO ZMI-4104主要用于精密测量和控制系统中，特别是在需要高精度位置和位移测量的场景中 例如：
半导体制造：用于测量材料表面形貌、厚度、折射率等参数
光学测量：适用于光学元件的精密测量
精密加工：用于精密加工设备的测量和校准
航空航天：用于高精度测量和控制
科学研究：为科学研究提供高精度的测量工具
应用领域
半导体制造：用于晶圆加工和设备校准
光学制造：用于光学元件的测量和检测
精密加工：用于精密加工设备的测量和校准
航空航天：用于高精度测量和控制系统
科学研究：为科学研究提供高精度测量工具
