描述
产品说明
0021-53986
AMAT 0021-53986是一款高效率、高功率密度的直流电源模块，广泛应用于半导体制造设备中的扩散炉、刻蚀机、沉积设备、清洗设备和测试设备等关键工艺中
产品参数
输入电压：180 V至460 V DC
输入电流：100 A
输出电压：24 V DC
输出电流：125 A
功率：3000 W
效率：高达95%
功率密度：3 kW/L
工作温度范围：0°C至50°C
尺寸：483 mm x 254 mm x 133 mm
重量：25 kg
产品规格
模块类型：直流电源模块
应用领域：半导体制造设备
特性：低纹波和噪声、高可靠性、符合多种安全标准
系列
AMAT 0021-53986属于AMAT的电源系列，专注于高性能电源解决方案
特征
高效率：效率高达95%，显著降低能耗
高功率密度：功率密度达到3 kW/L，适合紧凑型设备
宽输入电压范围：适应不同的电源输入需求
低纹波和噪声：确保设备运行的稳定性和可靠性
高可靠性：经过严格测试和认证，适用于苛刻的工作环境
作用与用途
AMAT 0021-53986提供稳定可靠的电源支持，确保扩散炉等设备的顺利运行其高功率密度和高效率使其特别适合需要高精度和高性能的半导体制造工艺
应用领域
该产品主要应用于以下领域：
半导体制造：扩散炉、刻蚀机、沉积设备、清洗设备和测试设备
太阳能电池制造：提供高效、精确的沉积和清洗解决方案
LED制造：满足LED制造过程中对蚀刻工艺的需求
其他需要蚀刻工艺的应用：如微电子制造、光伏器件制造、光学元件制造等
