描述
产品说明
0021-53986
AMAT 0021-53986是一种用于等离子体刻蚀和沉积系统的下护罩组件，主要用于保护腔室免受灰尘、碎屑和其他污染物侵害此外，也有资料显示其为直流电源模块，适用于半导体制造设备
产品参数
如果是下护罩组件：材质为铜，尺寸为300毫米，形状为圆形
如果是直流电源模块：输入电压为180V至460V DC，输入电流为100A，输出电压为24V DC，输出电流为125A，功率为3000W，效率高达95%，工作温度范围为0°C至50°C
产品规格
尺寸：483 mm x 254 mm x 133 mm
材质：铜
系列
AMAT 0021-53986属于应用材料公司的产品系列，具体分类可能涉及等离子刻蚀设备或半导体制造设备
特征
高性能：采用优质材料制造，加工精度高，可靠性强
稳定性：经过严格测试和认证，符合行业标准
易于安装：设计简单，便于用户快速安装和使用
作用与用途
如果是下护罩组件：用于保护等离子体刻蚀和沉积系统的腔室，防止外界污染物进入
如果是直流电源模块：为半导体制造设备提供高效率、高功率密度的电源解决方案，适用于扩散炉、刻蚀机、沉积设备等关键设备
应用领域
微电子制造
光伏器件制造
光学元件制造
薄膜涂层
半导体制造
太阳能电池制造
LED制造
