描述
产品说明：
0021-53986
AMAT 0021-53986是一种用于等离子体刻蚀和沉积系统的下护罩组件，主要用于保护腔室免受灰尘、碎屑和其他污染物的侵害 该组件通常用于半导体制造设备的刻蚀机、沉积设备等关键部件中
产品参数：
材质：铜
尺寸：300毫米（直径）
产品规格：
适用于刻蚀机的下护罩，直径为300毫米，形状为圆形，厚度和孔径未明确
系列：
属于AMAT（应用材料公司）生产的刻蚀机相关备件系列
特征：
高性能材料制成，确保耐用性和可靠性
防止腔室污染，提高设备运行效率
安装简单，易于维护
作用和用途：
保护刻蚀机腔室免受外部污染，如灰尘、碎屑等
适用于微电子制造、光伏器件制造、光学元件制造和薄膜涂层等
应用领域：
半导体制造
太阳能电池制造
LED制造
其他需要刻蚀工艺的设备
