描述
产品说明
0090-07135
AMAT 0090-07135是一款专为半导体制造设计的控制器或模块，用于精确控制设备运行参数，包括温度、压力和真空度等 它属于AMAT的蚀刻腔组件系列，也可能涉及CVD（化学气相沉积）或刻蚀工艺
产品参数
抽速率：1200 CFM（立方英尺/分钟）
极限真空度：10^-9 Torr（托）
噪音：<65 dB(A)
振动：<0.1 g
寿命：>40,000小时
处理能力：适用于特定尺寸和类型的硅片或晶圆处理
产品规格
外形尺寸：符合先进晶圆处理平台（ATC）的标准
处理材料：适用于多种半导体材料，如硅和硅锗
控制精度：高精度气体流量与压力控制、温度控制
系列
AMAT 0090-07135属于AMAT的蚀刻腔组件系列，也可能涵盖CVD或刻蚀工艺系列
特征
高精度控制：提供精确的气体流量、温度与压力控制，确保工艺稳定性
长寿命设计：经过严格的质量控制，确保长期稳定运行
模块化设计：便于维护和升级
低噪音和低振动：减少对环境的影响
作用与用途
AMAT 0090-07135的主要作用是控制半导体制造设备的运行参数，以实现高效、可靠的工艺控制 其具体用途包括：
晶圆清洗
刻蚀
沉积薄膜
封装
应用领域
AMAT 0090-07135广泛应用于以下领域：
半导体制造行业，包括集成电路制造、微机电系统（MEMS）、光电子器件等
消费电子、通信、汽车电子、医疗电子等领域
工业自动化和电子设备
0090-07135
