描述
产品说明
001-4130-03
BROOKS 001-4130-03是一款高精度、高可靠性的晶圆对准控制器，属于Brooks Automation的VCE系列 该控制器通过先进的定位算法和高精度伺服电机，实现亚微米级别的晶圆对准精度，确保制造过程中的极高精度和一致性
产品参数
对准精度：X/Y方向±2μm，θ方向±0.1mrad
重复性：X/Y方向0.5μm，θ方向0.05mrad
扫描范围：X/Y方向±20mm，θ方向±5°
速度：X/Y方向100mm/s，θ方向10°/s
工作温度范围：-40°C至85°C
防护等级：IP54
产品规格
尺寸：500 mm x 300 mm x 200 mm
负载能力：5 kg
通信接口：RS-232、RS-485、以太网
系列
BROOKS 001-4130-03属于Brooks Automation的VCE系列，该系列以高精度、高可靠性和易用性著称
特征
高精度定位：采用先进的伺服电机和编码器，确保晶圆在搬运和定位过程中的精确性
多轴控制：支持X、Y和θ方向的多轴运动，满足复杂半导体制造需求
实时监控与反馈：具备实时对准反馈功能，确保制造过程的及时性和准确性
易用性：用户界面直观，操作简单，支持梯形图和语句表编程
高可靠性：采用工业级设计，能够在恶劣环境中稳定运行，减少停机时间和维护成本
作用与用途
BROOKS 001-4130-03的主要作用是通过高精度定位和校准技术，确保晶圆在搬运和定位过程中的精确性，从而提高半导体制造的效率和产品质量 它广泛应用于以下领域：
半导体制造：包括晶圆清洗、光刻、刻蚀、沉积、扩散、离子注入等工艺
太阳能电池制造：用于太阳能电池板的晶圆对准操作
LED制造：用于LED芯片的精准对准
其他精密制造应用：如计量、薄膜沉积等
应用领域
BROOKS 001-4130-03主要应用于半导体制造行业，同时也在太阳能电池、LED制造等领域具有重要应用价值
ABB S-073N ALU 3BHB009884R5211 ABB S-093H 3BHB030478R0309 ABB S-123H 3BHB030479R0512 ABB UFC912A101 3BHE039426R0101 ABB 5SHY4045L0001 3BHB018162R0001 ABB S-113N 3BHB018008R0001
