描述
产品说明:

853-150806-001
LAM 853-150806-001是一款高精度光谱仪模块,专为实验室环境设计,适用于精密测量和材料分析 其紧凑的设计和用户友好的界面使其易于集成到现有系统和工作流程中
该模块采用先进的信号处理技术,确保在长时间运行过程中保持性能稳定,同时具备高可靠性,适用于严格的工业条件
产品参数:
工作电压:220 V
输出频率:50 kHz
材质:石英或陶瓷(根据具体用途)
尺寸:100mm x 100mm x 10mm
重量:1kg
产品规格:
适用晶圆尺寸:8英寸
包含组件:光源、样品室和探测器,用于精确测量材料的组成
数据总线:支持四条数据总线,用于传输由CPU执行的处理数据
系列:
该产品属于LAM 853系列,该系列专注于为半导体设备提供高性能模块化组件
特征:
高精度:能够精确测量材料的组成,满足半导体制造的严格要求
耐用性:采用高质量材料制造,确保长期稳定运行
易于集成:模块化设计便于与现有系统无缝对接,减少维护需求
多功能性:适用于多种材料分析和质量控制场景
作用:
用于测量半导体材料的组成,优化工艺参数以提高生产效率和产品质量
控制PLC系统,确保在半导体制造过程中材料特性的一致性
用途:
该产品主要用于半导体制造设备中,特别是在集成电路、功率器件、光电器件和MEMS器件的生产过程中
也可用于蚀刻工艺中的反应腔、溅射环和挡板等关键部件
应用领域:
半导体制造:用于蚀刻工艺、材料分析和质量控制
实验室环境:用于精密测量和材料分析
其他工业领域:如电力、石化和自动化设备
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