描述
产品说明

7702
ZYGO 7702是一款基于氦氖技术的双频激光干涉仪,属于ZYGO公司的ZMI™系列激光头产品它采用氦氖激光器,提供稳定的双频输出,适用于高精度测量需求
产品参数
激光波长:632.8 nm
最大测量范围:300 mm
分辨率:1 nm
输出功率:最大1 mW,最小0.4 mW
光束直径:6 mm(25 mm)
参考频率:20 MHz±1600 Hz
工作温度:15-30℃,湿度<90%RH
外形尺寸:100 mm x 80 mm x 60 mm
重量:约350克
产品规格
测量范围:25 mm x 25 mm
测量精度:λ/100
测量模式:相位模式、强度模式
接口类型:USB 2.0
功耗:<x W
系列
ZYGO 7702属于ZYGO的ZMI™系列激光头产品,该系列还包括其他型号如ZYGO 7714和ZYGO 7724,具有不同的频率稳定性和功率输出
特征
高稳定性:氦氖激光器提供稳定的双频输出,确保测量结果的准确性
快速启动:从开启到激光输出仅需几秒钟
高分辨率:支持亚纳米级测量
灵活性:可定制配置,适用于多种测量轴
光学隔离功能:保护激光器不受背反射影响,提高测量精度
作用
ZYGO 7702主要用于以下领域:
半导体加工:晶圆检测、掩模叠合
光学元件分析:镜头表面轮廓分析、薄膜厚度测量
精密工程:组件对准、缺陷检测
科学研究:光学测量、激光加工