描述
产品说明
7702
ZYGO 7702是一款先进的干涉测量系统，采用氦氖激光技术，具备高精度和高稳定性，适用于表面形貌测量、光学元件分析以及三维测量等多种应用 其设计旨在满足半导体制造、掩膜检测等高精度需求，并提供亚纳米级的测量精度
产品参数
激光波长：632.8 nm
最大测量范围：300 mm
测量精度：亚纳米级
分辨率：1 nm
输出功率：400µW至1 mW
光束直径：6 mm（对应25 mm测量范围）
工作温度范围：15-30℃
产品规格
ZYGO 7702属于ZYGO公司的ZMI系列激光干涉仪，具有双频输出功能，确保测量信号的稳定性和可靠性 其外形尺寸为100 mm x 80 mm x 60 mm，适用于实验室和生产环境
系列
ZYGO 7702是ZYGO公司ZMI系列激光干涉仪的一部分，该系列还包括其他型号如ZYGO 7701和ZYGO 7714等，均采用氦氖激光技术，适用于不同的测量需求
特征
高精度：提供亚纳米级测量精度，适用于精密加工和质量控制
高稳定性：采用优质材料和精密制造工艺，确保设备长时间运行的可靠性
多功能性：支持多种测量模式，包括表面形貌测量、光学元件分析和三维测量
光学隔离功能：防止激光器受干扰，延长使用寿命并提高灵活性
快速启动：从激光输出到非接触式测量只需几秒钟
作用与用途
ZYGO 7702主要用于以下领域：
半导体制造：晶圆检测、掩膜计量等
精密机械加工：表面粗糙度、形状和纹理的测量
光学元件分析：光学滤波器、棱镜等元件的表面形貌测量
科学研究：气体浓度、污染物检测等
工业自动化：生产线质量检测
环境监测：气体浓度和污染物检测
军事与国防：激光武器、雷达系统等
应用领域
ZYGO 7702的应用范围非常广泛，包括但不限于以下领域：
半导体制造
光学元件制造
精密机械加工
环境监测
军事与国防
科学研究
